應(yīng)用介紹

碳化硅晶圓槽式清洗甩干一體機(jī)，主要結(jié)構(gòu)包括：上料工位、酸洗槽、清水槽、堿洗槽、缺陷檢測工位、甩干機(jī)和下料工位。

課題

1、碎片率高

由于碳化硅晶圓較硅晶圓厚度薄、硬度強(qiáng)，因此在搬運(yùn)及清洗過程中更加容易碎片。

2、需滿足行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SECS/GEM通訊）

解決方案

1、軌跡曲線控制技術(shù)

客戶期望在保證高速節(jié)拍的前提下，降低碎片率。通過歐姆龍獨(dú)特的軌跡曲線控制技術(shù)，能夠自動(dòng)計(jì)算補(bǔ)償量，以抑制速度變化時(shí)發(fā)生的偏差，精度高達(dá)±0.01mm。

確保了整個(gè)搬運(yùn)及清洗過程中的運(yùn)動(dòng)精度，即可在無偏差的情況下完成一系列工藝操作，有效降低碎片率。

2、滿足行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SECS/GEM通訊）

結(jié)合機(jī)器控制和上位通信，可在短時(shí)間內(nèi)以低成本輕松實(shí)現(xiàn)SECS/GEM通信。

■ 與上位主機(jī)直接通信

無需中轉(zhuǎn)計(jì)算機(jī)/專用通信單元/軟件

■ 有助于設(shè)備小型化

CPU單元可直連上位主機(jī)

■ 無需年度合約

降低運(yùn)行成本

使用SECS/GEM配置，無需編程即可實(shí)現(xiàn)通信設(shè)定。

■ 無需地址設(shè)定

變量編程無需地址設(shè)定

■ 計(jì)算機(jī)與機(jī)器控制器之間無需編程

使用一臺(tái)CPU，無需在中轉(zhuǎn)計(jì)算機(jī)和機(jī)器控制器之間通信

■ 通過SECS/GEM配置縮短設(shè)計(jì)時(shí)間

系統(tǒng)配置

實(shí)現(xiàn)價(jià)值

1、生產(chǎn)節(jié)拍＜175秒

2、碎片率＜0.05%，完整率≥99.95%

3、滿足行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SECS/GEM通訊）

3個(gè)“i”掀起制造革新