時隔兩年，半導(dǎo)體行業(yè)盛會——SEMICON China 2023于6月29日-7月1日在上海新國際博覽中心盛大重啟。展會匯聚了半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的設(shè)備、材料及自動化廠商，展示了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的前沿技術(shù)和成果。

作為在自動化領(lǐng)域深耕90年的自動化專家，歐姆龍在半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)開拓，積累了豐富的行業(yè)經(jīng)驗。為解決半導(dǎo)體行業(yè)課題，我們以AI、機(jī)器人、數(shù)字化等核心技術(shù)為基礎(chǔ)，提出全新進(jìn)化、貼合市場需求的SEMI/FPD行業(yè)解決方案，在本屆SEMICON上與全球觀眾共享！

連續(xù)三天，歐姆龍展臺人潮涌動，高溫和暴雨也無法阻擋“半導(dǎo)體人”的熱情。新老朋友相聚展臺暢談，共同品鑒歐姆龍SEMI/FPD行業(yè)解決方案，在交流中碰撞出新的火花，展望合作共贏的未來。

SEMI/FPD行業(yè)解決方案

歐姆龍圍繞不斷進(jìn)化的i-Automation!理念新型制造的3個方向，即“超越人的自動化”、“人機(jī)的高度協(xié)作”、“數(shù)字工程革新”，在SEMICON上展示超尖端的解決方案和SEMI/FPD制造行業(yè)的革新應(yīng)用。

*在“超越人的自動化”方面，我們以高速、高精度的控制應(yīng)用技術(shù)為基盤，運用IoT、AI和機(jī)器人技術(shù)，將生產(chǎn)環(huán)節(jié)所涉及的各類作業(yè)、業(yè)務(wù)全部交由機(jī)器完成，讓全流程自動化成為現(xiàn)實。

溫度均一技術(shù)在SEMI勻膠顯影機(jī)上的應(yīng)用

熱處理工藝中溫度控制的好壞會對產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率產(chǎn)生很大的影響。以往的控制技術(shù)很難控制升溫過程中工件溫度的偏差。以半導(dǎo)體行業(yè)為例，存在著因溫度偏差導(dǎo)致成品率不穩(wěn)定、多點溫度設(shè)置需要通過復(fù)雜的調(diào)節(jié)流程等課題。

歐姆龍自主開發(fā)的“工件溫度均一技術(shù)(已申請專利)”可將工件及其附近的溫度偏差降低70%以上(本公司數(shù)據(jù))，提高產(chǎn)品品質(zhì)。此外，溫度特征量自動生成技術(shù)，即使有數(shù)十個以上的加熱點，也能精確地調(diào)整溫度，無需人工干預(yù)。

「On the fly」多軸飛控技術(shù)在SEMI激光加工上的應(yīng)用

智能手機(jī)和電動汽車的普及，對電子元件的需求與日俱增。激光加工是電子元件的生產(chǎn)工藝之一，傳統(tǒng)方法中，平臺移動和振鏡控制是順序執(zhí)行的，即執(zhí)行“分步重復(fù)”處理，重復(fù)操作的移動和停止降低了生產(chǎn)效率。

為提高高精度加工的速度，歐姆龍將所有設(shè)備的控制整合，在同一個控制器中實現(xiàn)連續(xù)激光加工。通過歐姆龍可編程多軸運動控制器（PMAC）高性能CPU進(jìn)行集中控制，可確保多軸控制同步，同時通過頻譜反褶積法實現(xiàn)滿足執(zhí)行器的指令分配。與傳統(tǒng)的“分步重復(fù)”相比，處理時間縮短了約35％，產(chǎn)能得到突破性的提升。

通過歐姆龍可編程多軸運動控制器，賦予平臺納米級的定位精度和控制性能，可實現(xiàn)高精密測量、高精密加工、微進(jìn)等，助力實現(xiàn)超精密工字型運動，誤差≤0.2μm。例如，應(yīng)用于晶圓AOI檢測，平臺需要實現(xiàn)高動態(tài)快速點定位、勻速下的極小速波動、高倍顯微鏡下Z軸高動態(tài)跟隨追焦等關(guān)鍵要求，通過歐姆龍可編程多軸運動控制器的超高速響應(yīng)，PWM控制及歐姆龍自主研發(fā)的高度跟隨核心技術(shù)，提供了更精確的檢測效果，賦能晶圓激光隱切、AOI晶圓檢測。

不間斷高速檢查

在外觀檢測方面，以往的停頓檢查雖然位置精度高，但是拍攝速度慢；以往的連續(xù)拍攝速度提升了，但是位置精度過低。

歐姆龍的不間斷高速檢查技術(shù)，有效解決了檢查停頓的課題，提高生產(chǎn)性，畫像檢查節(jié)拍時間縮短70%。另一方面，該技術(shù)可以在保證拍攝速度的同時，準(zhǔn)確拍攝到高速旋轉(zhuǎn)的二維碼并識別。

*“人機(jī)的高度協(xié)作”旨在兼顧員工工作成就感和工作效率，靈活運用歐姆龍高度融合的人員動作的傳感技術(shù)、機(jī)器人、安全設(shè)備，實現(xiàn)此前難以達(dá)到的人機(jī)無縫銜接。

移動操縱機(jī)器人應(yīng)用（MoMA）

“移動操縱機(jī)器人應(yīng)用（MoMA）”即在移動機(jī)器人上搭載協(xié)作機(jī)器人，兼具LD的移動敏捷性與臂式協(xié)作機(jī)器人的操作性的綜合解決方案。除了使用LD自動搬運物品之外，還能使用臂式協(xié)作機(jī)器人自動裝卸物品。MoMA可運用于晶圓盒搬運，改變?nèi)斯ぐ徇\的方式，節(jié)省人力，加快效率，推動制造現(xiàn)場向更智能化和柔性化發(fā)展。

*“數(shù)字工程革新”為“超越人的自動化”、“人機(jī)的高度協(xié)作”提供支持，聚焦工程鏈中設(shè)計、啟動、維護(hù)環(huán)節(jié)的人工作業(yè)，用數(shù)字空間再現(xiàn)制造現(xiàn)場及設(shè)備，為業(yè)務(wù)流程的革新貢獻(xiàn)力量。

數(shù)字化預(yù)測性維護(hù)

控制柜內(nèi)設(shè)備、接線數(shù)量不斷增加，使得檢測部位增多，而熟練保養(yǎng)人員卻在減少，無法實時對溫度進(jìn)行測量。

應(yīng)對設(shè)備事故引發(fā)的商業(yè)損失風(fēng)險，無法實時監(jiān)控設(shè)備老化、異常，熟練保全員的缺乏等課題，歐姆龍將工匠技藝數(shù)字化，通過信息化元器件，實現(xiàn)不依賴熟練工的預(yù)兆保全，異常征兆0錯漏。

本屆SEMICON已落下帷幕，歐姆龍將堅持以AI、機(jī)器人、數(shù)字化等核心技術(shù)為基礎(chǔ)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供數(shù)智化解決方案，為中國SEMI/FPD行業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量。