2023年6月，歐姆龍自動(dòng)化（中國(guó)）有限公司新品【高性能溫控單元NX-HTC】正式發(fā)布。先進(jìn)的溫控技術(shù)，滿(mǎn)足因半導(dǎo)體微型化和疊層化而日益嚴(yán)苛的溫控要求，助力日益復(fù)雜的制造業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

為實(shí)現(xiàn)高度數(shù)字化的社會(huì)，半導(dǎo)體微型化、層疊化，溫度對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響也隨之增大，導(dǎo)致對(duì)溫控的要求日益嚴(yán)苛：

? 維持現(xiàn)有占地面積的前提下，實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)控制

? 必須提高溫控性能，減小溫控波動(dòng)幅度，實(shí)現(xiàn)精密加工

? 快速檢測(cè)工件、設(shè)備、環(huán)境變化導(dǎo)致的溫度曲線的細(xì)微變化，發(fā)現(xiàn)缺陷，減少浪費(fèi)

? 將日常干擾造成的溫度波動(dòng)降到最低，最大限度提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)能力

【高性能溫控單元NX-HTC】通過(guò)節(jié)省空間和可視化特征量，助力滿(mǎn)足嚴(yán)苛的溫控要求，進(jìn)而提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

①節(jié)省約40%空間

課題：為了更準(zhǔn)確地測(cè)量溫度，需要增加溫控點(diǎn)數(shù)，這會(huì)增加設(shè)備數(shù)量，難以維持現(xiàn)有占地面積

NX-HTC每臺(tái)單元支持8Ch控制*1。與使用兩臺(tái)傳統(tǒng)產(chǎn)品NX-TC 4Ch相比，在寬度方面節(jié)省了約40%的空間，提高了單位面積的生產(chǎn)能力。

*1. 標(biāo)準(zhǔn)控制情況下

NX-HTC搭配小型連接器端子臺(tái)XW2K和專(zhuān)用電纜，進(jìn)一步節(jié)省空間，減少柜內(nèi)占用面積。

②提升溫控性能，溫度分辨率可達(dá)0.01℃

課題：所需的加工精度日漸精密，為了提升生產(chǎn)質(zhì)量，必須減小溫控波動(dòng)幅度

NX-HTC在廣闊的溫度范圍內(nèi)具備0.01°C的高分辨率，有助于在高溫條件下實(shí)現(xiàn)高精度溫控。

③特征量可視化功能

課題：

? 不可預(yù)測(cè)的外部干擾引發(fā)晶圓翹曲等工件變形現(xiàn)象和加熱器或傳感器錯(cuò)位或老化等設(shè)備變化導(dǎo)致合格率降低

? 出現(xiàn)缺陷時(shí)，需要花時(shí)間調(diào)查發(fā)生異常的范圍和原因

NX-HTC的特征量可視化功能，可以將生產(chǎn)期間和溫度上升期間的溫度波形變化自動(dòng)轉(zhuǎn)化為特征量。

通過(guò)監(jiān)視特征量數(shù)據(jù)的趨勢(shì)，可以檢測(cè)工件、環(huán)境和設(shè)備的細(xì)微變化，量化管理設(shè)備狀態(tài)。由此及早發(fā)現(xiàn)設(shè)備狀態(tài)異常，助力減少缺陷產(chǎn)品，從而減少浪費(fèi)。

④將日常干擾造成的溫度波動(dòng)降到最低

課題：

? 溫控要求因半導(dǎo)體微型化和層疊化而日益嚴(yán)苛，常規(guī)外部干擾引起的溫度變化會(huì)影響品質(zhì)

? 常規(guī)外部干擾導(dǎo)致的溫度變化需要等待一定時(shí)間才能達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，生產(chǎn)能力無(wú)法提升

NX-HTC/NX-TC自動(dòng)抑制常規(guī)外部干擾導(dǎo)致的溫度變化，通過(guò)提升質(zhì)量、縮短溫度達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)所需的等待時(shí)間，助力提升生產(chǎn)能力。

外部干擾導(dǎo)致溫度變化示例

通過(guò)抑制溫度變化，溫度達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)所需的等待時(shí)間與以往相比減少了最多80％。

NX-HTC/NX-TC外部干擾抑制功能，將溫度變化控制在最低限度。

外部干擾抑制功能是一項(xiàng)控制功能，能夠針對(duì)可預(yù)測(cè)的外部干擾預(yù)先抑制溫度變化?？赏ㄟ^(guò)在外部干擾出現(xiàn)前向溫控器單元輸入信號(hào)啟動(dòng)本功能以增減操作量。通過(guò)外部干擾自動(dòng)調(diào)諧功能，自動(dòng)調(diào)整FF（前饋）操作量、FF動(dòng)作時(shí)間和FF等待時(shí)間。

歐姆龍高性能溫控單元NX-HTC，通過(guò)先進(jìn)的溫控技術(shù)，助力日益復(fù)雜的制造業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率！