在半導(dǎo)體和FPD制造/檢查設(shè)備中，如何實現(xiàn)曝光機(jī)、涂布機(jī)、點膠機(jī)、晶片檢查設(shè)備等的超精密動作？

智能設(shè)備制造時，如何控制特殊機(jī)械機(jī)構(gòu)，例如具有機(jī)器人機(jī)構(gòu)的設(shè)備？

加工機(jī)/沖壓機(jī)設(shè)備，如何實現(xiàn)放電加工機(jī)、噴流加工機(jī)、激光加工機(jī)、磨床、精密沖壓機(jī)等的高速超高精度加工？

如果您正面臨這些課題，為設(shè)備性能而苦惱，選擇歐姆龍可編程運動控制器CK3M/CK5M系列，即可輕松解決運動控制課題。

精密加工         半導(dǎo)體和FPD制造/檢查       智能產(chǎn)品3D加工

CK3M/CK5M系列4大特點

解決運動控制的課題

CK3M/CK5M系列兼容Rapid、Flexible、Capable、Easy這4大特點平衡速度和精度，出色的運動控制能力，有助于充分發(fā)揮設(shè)備的性能。

*Rapid-高速控制周期實現(xiàn)更高精度的加工

通過控制周期25μs/5軸*1這種超高速伺服周期運算，實現(xiàn)高精度的指令運算和高精度的指令追蹤，使客戶的設(shè)備達(dá)到更高精度。

*1.僅電機(jī)控制的情況。2022年11月本公司調(diào)查結(jié)果

*Flexible-支持多供應(yīng)商實現(xiàn)理想設(shè)備構(gòu)成

支持不同接口

不同控制模式，實現(xiàn)理想設(shè)備構(gòu)成

*Capable-高自由度的開發(fā)實現(xiàn)各種各樣的應(yīng)用

使用多種編程語言，實現(xiàn)各種各樣的應(yīng)用

開放的軟件結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)各種各樣的應(yīng)用

*Easy-系統(tǒng)整合實現(xiàn)設(shè)備設(shè)計工時的削減

無需聯(lián)鎖，減少設(shè)計工時

整合工具，輕松設(shè)置

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示例